Grundlagen integrierter Schaltungen

Dieses Buch stellt den sehr umfangreichen und komplizierten Herstellungsprozess für integrierte, elektronische Schaltungen verständlich und umfassend dar. Dabei wurde auf eine möglichst einfache Beschreibung der physikalischen und chemischen Prozesse Wert gelegt, sodass sich Studenten und Ingenieure mit Hilfe dieses Buches schnell in das Thema einarbeiten können. Jedes Kapitel enthält Aufgaben, die dazugehörigen Lösungen findet man auf der Homepage des Autors.